粒子实时在线监测系统方案
此系统可对洁净区域中的环境和设备内部进行自动监测，激光粒子计数器型号为：TSI-7301,粒子监测粒径为0.3， 5.0μm，采样量为：2.83L/min。系统配置外置真空取样泵，并根据厂房的实际情况配全相应的取样管、数据线电源线等辅材。可实现对环境中的粒子实时监测显示。
FMS粒子在线系统架构图
系统原理
系统主要包含粒子计数器、真空泵、数据处理器和监测显示屏三大部分。通过真空泵将待测气体传入传感器腔体内，激光二极管发出的光照射在粒子上，光线发生散射，传感器接受到散射光后将光信号转换成电信号，经由数据处理器运算变换处理后给到示屏显示数据，当数据值超过预设值的警戒线就显示相对应的颜色指示灯。
粒子在线系统方案明细
系统说明：本项目设计可为11个千级无尘棚共用一套在线粒子监测系统。
本套系统包含75个粒子监测点（其中1号千级洁净棚6个点、2号千级洁净棚5个点、3号千级洁净棚4个点、4号千级洁净棚12个点、5号千级洁净棚3个点、6号千级洁净棚5个点、7号千级洁净棚12个点、8号千级洁净棚4个点、9号千级洁净棚8个点、10号千级洁净棚5个点、11号千级洁净棚9个点、），1套真空泵，1套控制箱，1个大屏显示器。
粒子监测点分布图
该方案得很好的结合客户的实际生产工艺来布局采样点，这个在做之前要跟客户充分的沟通，甚至还要对一些风险点进行风险评估，然后根据评估结果，来布置采样点，在线系统才能起到很好的检测作用。
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